睿励科学仪器（上海）有限公司（睿励科学仪器，RSIC）宣布完成近5亿元战略融资，本轮融资由金石投资和招商致远联合领投，河南资产、金信资本、鼎青投资等跟投。所融资金主要用于进一步提升先进半导体制程用的光学量检测设备的国产替代能力，丰富产品种类，加大市场开拓力度能力。
睿励科学仪器（RSIC）成立于2005年，总部位于上海张江。公司致力于开发、生产和销售具有自主知识产权及核心技术的集成电路芯片制造工艺用的光学量检测设备，是国内第一批半导体前道工艺国产设备公司，也是半导体行业国内第一家量检测领域的国产设备公司。迄今为止，睿励科学仪器仍是进入三星半导体产线的唯一国产设备厂商，也是目前唯一为半导体芯片制造良率控制、提供批量有图形光学缺陷检测设备的国产设备企业。
创投之家（chuangtouzhijia.com）从网站数据平台「官网通」查询获悉，睿励科学仪器（RSIC）官方网站为「www.rsicsh.com」。
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