半导体前道电子束量检测设备行业解决方案领军企业——矽视科技(SiScanTech)成功完成A轮数亿元融资。此轮融资由俱成投资、毅达资本、国发创投、相城金控等机构联合投资,老股东持续追加投资,山云资本则担任本轮的独家财务顾问。

矽视科技(SiScanTech)成立于2021年,由全球知名电子束领域技术专家引领,多位海归博士共同创立。公司专注于国内半导体前道设备中极为关键且面临 “卡脖子” 问题的领域,即电子束量检测技术在前道晶圆量检测方面的应用。目前,公司的首台CDSEM设备已在 Fab 厂上线使用一年多,承接产能超过50余万片,顺利通过各阶段量产及压力测试,已经开始批量对外销售。同时,针对国内6/8寸(含三代半)客户的升级版 CDSEM已完成产品定型,正处于密集的验证测试阶段,预计将成为 2025 年市场销售的主力产品。此外,满足高端制程需求的12寸CDSEM和电子束缺陷检测设备(EBI)已集成完毕,不久将会推向市场。
创投之家(chuangtouzhijia.com)从网站数据平台「官网通」查询获悉,矽视科技(SiScanTech)官方网站为「www.siscantech.com」。
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